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1)灵敏度S

光敏器件的灵敏度是指器件输出电流（或电压）与入射光通贵（或照度）之比。灵敏度又分为单色灵敏度和积分灵敏度。当某一波长λ的光入射到光敏器件时，器件输出的光电流Iλ与该波长的入射光通量Φλ（或照度Eλ之比），称为该器件的单色灵敏度。由于光敏器件对某一波长为敏感，因此对此波长有灵敏度。而对某一波长的单色灵敏度与灵敏度之比，称为相对单色灵敏度。

光敏期间输出的电流（或电压）与入射光的总通量（或照度）之比，称为积分灵敏度。积分灵敏度不仅与光敏器件本身持性有关，而且与光源的辐射持性有关。所以，在测试光敏器件的积分灵敏度时，要标定出光源的辐射条件。

2)光谱响应

光敏器件的单色灵敏度是入射光波长的函数，常用曲线表示。下图是某一光敏二极管的光谱响应曲线。由图可见，其短波截止波长和长波截止波长分别为0.4μm和1.1μm，峰值波长（即灵敏度的波长）约在0.9μm。其他光敏器件的光谱响应曲线和此曲线有相似之处，但不同种类的光敏器件的光谱曲线的形状、光谱范围和峰值波长等均有所不同。